INTEGRATED GAS SYSTEM>>Qsim tas-Serje tal-Prodotti IGS
VIGOR jipprovdi Sistemi ta' Gass Integrati (IGS) avvanzati ddisinjati speċifikament għall-kontroll tal-gass ta'-purità għolja fl-industrija tal-manifattura tas-semikondutturi. Is-soluzzjonijiet tagħna jgħaqqdu inġinerija innovattiva ma 'standards stretti ta' manifattura biex jiżguraw affidabbiltà, kumpattezza, u prestazzjoni superjuri f'applikazzjonijiet kritiċi.
Karatteristiċi tal-Prodott
- Użat għall-kontroll tal-gass fl-industrija tas-semikondutturi
- Disinn modulari
- Il-komponenti kollha huma mmuntati fuq il-wiċċ skont l-istandard SEMl
- Id-daqs huwa madwar 1/3 tal-pannell tradizzjonali
- Materjal standard SEMl, proċess ta 'electropolishing u wweldjar orbitali
- Wseal u C-seal mhux obbligatorju
- Double bagged fil cleanroom
- Il-prodotti kollha, ħlief "parentesi", huma kollha prodotti skont l-ispeċifikazzjoni tal-proċess VS001A
Regolaturi tal-Pressjoni IGS Serje VIR
1. Max. Pressjoni tax-Xogħol: 150 psig
2. Max. Temp tax-Xogħol: -40 grad F ~ 140 grad F (-40 grad ~ 60 grad)
3. Pressjoni tal-ħruġ: 0 ~ 100 psig
4. Il-finitura tal-wiċċ: Max. 5uin. Ra
5. Materjal: 316L VIM-VAR
6. Valve Seat: PCTFE(PFA/Vespel fakultattiv)
7. Kapaċità tal-Fluss: Cv=0.08
Valvoli tad-dijaframma IGS Serje VID
1. Max. Pressjoni tax-Xogħol: 150 psig
2. Max. Temp tax-Xogħol: PCTFE 14 grad F ~ 176 grad F (-10 grad ~ 80 grad); PFA 14 grad F ~ 302 grad F (-10 grad ~ 150 grad)
3. Ebda disinn dead end
4. Il-wiċċ imxarrab jiġi ttrattat b'EP, Max. 5uin. Ra.
5. Materjal: 316L VIM-VAR
6. 100% Helium-tnixxija-ittestjata
7. Kapaċità tal-Fluss: Cv=0.1
Valvoli tal-Kontroll tal-Fluss IGS Serje VIM
1. Max. Pressjoni tax-Xogħol: 150 psig
2. Max. Temp tax-xogħol: 14 grad F ~ 302 grad F (-10 grad ~ 150 grad)
3. Issiġillar: FKM
4. Il-wiċċ imxarrab jiġi ttrattat b'EP, Max. 5uin. Ra
5. Kapaċità tal-Fluss: Cv=0.03
IGS Iċċekkja Valvoli VICV Serje
1. Max. Pressjoni tax-Xogħol: 150 psig
2. Max. Temp tax-xogħol: 14 grad F ~ 176 grad F (-10 grad ~ 80 grad)
3. Finish tal-wiċċ: Max. 5uin. Ra
4. Pressjoni tal-qsim: 0.33 psig
5. Kapaċità tal-Fluss: Cv=0.2
Substrati Serje VlB (C-siġill)
1. Ċ-siġill
2. Installazzjoni mhux-fissa biex tiżgura l-effett tas-siġillar
3. Il-parti mxarrba hija ttrattata bl-EP
4. Il-finitura tal-wiċċ: Max. 5uin.Ra
5. Materjal: 316L VIM-VAR
Serje tal-Prodotti ewlenin
- Regolaturi tal-Pressjoni IGS (Serje VIR)
- Valvoli tad-dijaframma IGS (Serje VID)
- Valvoli tal-Kontroll tal-Fluss IGS (Serje VIM)
- IGS Check Valves (Serje VICV)
- Substrati & Parentesi IGS (Serje VIB)
- Gaskits (Serje VIG)
Għaliex Agħżel VIGOR IGS?
Is-sistemi tagħna jirrappreżentaw sinerġija ta 'inġinerija ta' preċiżjoni u disinn prattiku, li jwasslu:
- Effiċjenza Spazjali: Daqs tal-pannelli mnaqqas b'mod drammatiku.
- Ultra-Purità Għolja: Materjali u proċessi mfassla għal applikazzjonijiet ta' grad-semikondutturi.
- Flessibilità Modulari: Faċli biex tikkonfigura, tespandi, u żżomm.
- Affidabilità Ppruvata: Ittestjar strett u konformità SEMI-standard.
F'VIGOUR, noffru aktar minn sempliċi komponenti-aħna nipprovdu soluzzjonijiet integrati li jagħtu l-ħajja lill-ideat tiegħek b'kunfidenza u preċiżjoni.
