Għall-istess biċċa ta 'tubi ta' l-istainless steel 316L, il-prezzijiet jistgħu jvarjaw bosta drabi. Is-sigriet mhux fil-ħxuna tal-ħajt, iżda fil-wiċċ ta 'ġewwa. Aktar ma tkun għolja l-purità tal-gass meħtieġa, iktar ikunu stretti t-talbiet imqiegħda fuq il-"ġilda" ta 'ġewwa tat-tubi. It-tliet denominazzjonijiet AP, BA u EP jirrappreżentaw tliet standards ta' gradazzjoni definiti mill-industrija għall-uċuħ ta' ġewwa tat-tubi.
▌Grad 1: AP - Il-grad bażiku pproċessat mekkanikament
It-tubi AP (Acid Pickling) jgħaddu minn aċidu pickling biex ineħħi l-iskala tal-wiċċ u l-kontaminanti, li jirriżulta f'wiċċ ta 'ġewwa relattivament mhux maħdum. Huwa maħsub għal pajpijiet tal-gass industrijali għal skopijiet ġenerali. Il-vantaġġi tiegħu huma bi prezz baxx u żmien qasir, adattat għal applikazzjonijiet b'rekwiżiti ta 'partiċelli maħlula u impurità, bħal linji ta' tindif ordinarji ta 'arja kkompressata u nitroġenu.
▌Grad 2: BA - Il-grad ttemprat qawwi ta' purità għolja
Tubi BA (Bright Annealing) jittempraw taħt atmosfera ta 'idroġenu jew vakwu biex jiffurmaw film passiv dens fuq il-wiċċ tiegħu, u jikseb ħruxija tal-wiċċ ta' ġewwa ta 'Ra<0.4 μm. Meta mqabbel mat-tubi AP, it-tubi BA jagħtu uċuħ aktar lixxi, reżistenza superjuri għall-korrużjoni u assorbiment imnaqqas b'mod notevoli ta 'partiċelli u umdità. Huwa adottat b'mod wiesa 'għal trasport ta' gass ta 'purità għolja.
▌Grad 3: EP - Il-grad elettro-illustrat premium
It-tubi EP (Electro-Polishing) huma elettro-illustrati aktar fuq il-bażi tat-trattament BA. Bit-tubi li jservu bħala l-anodu, il-qċaċet tal-wiċċ huma maħlula fl-elettrolit biex jillivellaw il-wiċċ ta 'ġewwa, u jrendu ħruxija ta' 5-10 μin Ra (madwar . 0.13-0.25 μm). L-elettro-illustrar jagħti wiċċ ta 'ġewwa lixx bħala mera, jelimina partiċelli metalliċi residwi u kontaminazzjoni indotta mill-proċess, u jiġġenera saff passiv b'ħafna kromju - rekwiżit obbligatorju għal tubi użati f'sistemi ta' gass ta 'purità ultra-għolja tas-semikondutturi.
VIGOR - Għaliex l-EP huwa obbligatorju għas-semikondutturi
Fil-manifattura tal-wejfer, anki partiċelli metalliċi ċkejkna jew molekuli ta 'umdità lissija mill-ħitan tat-tubi jistgħu jikkawżaw difetti tal-wejfer. Wiċċ mhux maħdum jaġixxi bħal sponża li taqbad il-ħmieġ: jassorbi l-umdità u l-impuritajiet, li mbagħad jiġu rilaxxati bil-mod maż-żmien. B'kuntrast, il-wiċċ lixx u dens tal-EP ma jħalli mkien għall-partiċelli u l-umdità biex jaderixxu, u jnaqqas drastikament il-ħin taċ-ċiklu tat-tindif u l-iskambju. It-tubi EP jiffurmaw l-ewwel barriera fiżika li tissalvagwardja l-purità għad-distribuzzjoni tal-gass ta’ purità ultra-għolja.
Paragun ta' tliet gradi u prodotti VIGOR korrispondenti
| Grad | Proċess | Ħruxija tal-wiċċ | Applikazzjonijiet Tipiċi | VIGOR Ekwivalenti |
|---|---|---|---|---|
| Grad AP | Pickling Aċidu u Passivazzjoni | Relattivament mhux maħduma | Pajpijiet tal-gass industrijali ġenerali | Serje VTUBE (Grad AP) |
| Grad BA | Ttemprar Bright | Ra < 0.4 μm | Gassijiet ta 'purità għolja, kimiċi elettroniċi | Serje VTUBE (Grad BA) |
| Grad EP | Elettro-Illustrar | 5–10 μin. Ra | Ċirkwiti tal-gass ta 'purità ultra-għolja tas-semikondutturi | Serje VTUBE (Grad EP), Prodotti VUPS Ultra-High-Purity |
Ta 'min jinnota li l-grad tal-materjal u t-trattament tal-wiċċ huma speċifikazzjonijiet kumulattivi. Serje ta 'purità ultra-għolja VIGOR VUPS: il-mudell UB juża sottostrat standard 316L b'finitura tal-wiċċ Ra 10/25 μin; il-mudell UC huwa aġġornat għal substrat 316L imdewweb mill-ġdid b'finitura tal-wiċċ Ra 5/7/10 μin. Kemm il-purità tal-materjal kif ukoll l-intoppi tal-wiċċ huma elevati biex jottimizzaw il-prestazzjoni tal-wiċċ ta 'ġewwa. Meta tagħżel it-tubi, għandha titqies mistoqsija ewlenija waħda: liema grad ta' "ġilda" tal-wiċċ ta' ġewwa jaqbel mal-ħtieġa tiegħek tal-purità tal-gass?
