Intuwizzjoni ta' l-Industrija|Kemm hija kritika l-purità tal-gass fil-manifattura tas-semikondutturi?

Fil-manifattura tas-semikondutturi jipprevali kunsens-stat tajjeb: il-limitu ta 'fuq tal-prestazzjoni taċ-ċippa huwa definit mid-disinn, filwaqt li l-limitu aktar baxx tar-rendiment tal-produzzjoni jiddependi fuq il-purità tal-materjal.

L-immaġni hija miksuba mill-internet.

Mit-tindif tal-wejfers u d-depożizzjoni ta'-film irqiq għal inċiżjoni u doping, il-proċess ta' produzzjoni għal wejfer wieħed ta' 12-pulzier jinvolvi aktar minn 30 tip ta' gassijiet tal-proċess, inklużi silane, ammonja, trifluworidu tan-nitroġenu, hexafluoride tat-tungstenu, klorur tal-idroġenu, u aktar. Kull gass għandu jitwassal lejn il-kamra tar-reazzjoni b'purità ultra-għolja.

Impuritajiet ta 'traċċa fil-livell ta' ppb (umdità, ossiġnu, materja partikulata) li jidħlu fil-pajpijiet tal-gass jistgħu jikkawżaw difetti ta 'film irqiq-u kontaminazzjoni interfacial, li jkaxkru direttament ir-rendiment tal-produzzjoni. Meta tieħu l-proċess 3nm bħala eżempju, kull ċippa individwali tiswa mijiet ta 'dollari Amerikani; ċaqliq sempliċi ta' 1% fir-rendiment huwa biżżejjed biex iħassar profitti stmati għal għexieren ta' miljuni.

Fl-industrija tas-semikondutturi, "purità għolja" ma tfissirx "proċess-lest". L-isfida reali tinsab fiż-żamma tal-purità - iż-żamma tal-gass ħieles mill-kontaminazzjoni- tul il-mogħdija kollha tal-kunsinna mis-sors tal-gass sal-punt tal-użu (POU).

Tliet salvagwardji ewlenin jaħdmu flimkien biex jinkiseb dan:

(1) Għażla tal-Materjal: Il-korpi tat-tubi u tal-valvi huma manifatturati minn VIM + VAR doppju stainless steel 316L imdewweb biex jimminimizzaw l-outgassing elementali minn materjali bażi.

(2) Irfinar tal-wiċċ: Ħruxija interna tal-wiċċ Ra Inqas minn jew ugwali għal 0.25 μm (10 μin.) bi trattament ta 'electropolishing (EP) biex titnaqqas l-adeżjoni tal-partikuli u l-assorbiment tal-umdità.

(3) Integrità tas-siġillar ermetiku: Rata ta 'tnixxija tal-elju Inqas minn jew ugwali għal 1 × 10⁻⁹ atm·cc/sec biex timblokka kompletament id-dħul ta' kontaminazzjoni esterna.

Linja ta' prodotti VIGOR VUPS Ultra-Purità Għolja tkopri l-katina sħiħa tal-kunsinna tal-gass li tikkonforma mal-istandards SEMI, inklużi fittings tal-wiċċ tal-metall VCR-seal fittings, valvi tad-dijaframma ta'-purità għolja u regolaturi tal-pressjoni f'żewġ-stadji.

Il-prodotti kollha huma mmuntati, ittestjati u doppji-vacuum-ippakkjati fi kmamar nodfa tal-Klassi 100 qabel il-ġarr. Dak li jirċievu l-klijenti mhuwiex sempliċiment valvi individwali, iżda plagg komplut-u-played ultra-sistema ta' assigurazzjoni ta' purità għolja.

Il-prodotti VIGOR ilhom joperaw b'mod affidabbli f'sistemi ta 'konsenja ta' gass ta 'speċjalità u pipelines tal-provvista tal-gass CVD/PVD f'diversi fabs tal-wejfer, kompatibbli ma' gassijiet ta 'proċess kritiċi bħal silane, trifluworidu tan-nitroġenu u trichloride tal-boron.

Il-manifattura tas-semikondutturi hija tellieqa bla tarf kontra l-kontaminanti - u l-missjoni ta 'VIGOUR hija li tiżgura l-aktar linja tat-tluq nadifa possibbli għal din it-tellieqa.